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真空镀膜有哪些方式

2022-02-07

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1：真空蒸发镀膜

在真空室中加热蒸发容器中的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸气流，入射到待镀产品表面，凝结形成固态薄膜的方法。

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2：离子镀膜

蒸发源的加热和蒸发镀膜相同。由于系统为等离子状态，使金属离子在产品表面吸附成膜，金属离子具有高能量，镀膜时离子结晶性佳、膜层的密着性高等

3：磁控溅射镀膜

给靶材施加高电压（形成等离子状态），使正荷电气体离子撞击靶材、金属原子飞弹，而在产品表面形成金属膜层的方法。

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