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真空镀膜机镀膜需要配备的几个真空计

2021-12-29

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真空镀膜腔体内真空丈量是指用特定的仪器和安装，对某一特定空间内真空上下的测定。这种仪器或安装称为真空计（仪器、规管）。真空计的品种很多，通常按丈量原理可分为绝对真空计和相对真空计。凡经过测定物理参数直接取得气体压强的真空计均为绝对真空计，例如U型压力计、紧缩式真空计等，这类真空计所丈量的物理参数与气体成分无关，丈量比拟精确，但是在气体压强很低的状况下，直接停止丈量是极端艰难的；而经过丈量与压强有关的物理量，并与绝对真空计比拟后得到压强值的真空计则称为相对真空计，如放电真空计，热传导真空计，电离真空计等，它的特性是丈量的精确度略差，而且和气体的品种有关。在实践消费中，除真空校准外，大都运用相对真空计。本节主要对电阻真空计、热偶真空计、电离真空计的工作原理、丈量范围等停止引见。