离子镀最早是由D.M.Mattox在1963年提出的。在真空条件下，利用气体放电使气体或蒸发物质离化，在气体离子或蒸发物质离子轰击作用的同时，把蒸发物质或其反应物蒸镀在基片上。

　　离子镀是将辉光放电、等离子技术与真空蒸发镀膜技术相结合的一门新型镀膜技术。它兼具真空蒸镀和溅射镀膜的优点，由于荷能粒子对基体表面的轰击，可以使膜层附着力强，绕射性好，沉积速率高，对环境无污染等好处。

　　离子镀的种类多种多样，根据镀料的气化方式(电阻加热、电子束加热、等离子电子束加热、多弧加热、高频感应加热等)、气化分子或原子的离化和激发方式(辉光放电型、电子束型、热电子型、等离子电子束型等)，以及不同的蒸发源与不同的电离方式、激发方式可以有很多种不同的组合方式。

　　总体来说比较常用的有：直流放电二极型、多阴极型、活性反应蒸镀(ARE)、空心阴极放电离子镀(HCD)、射频放电离子镀(RFIP)、增强的ARE型、低压等离子型离子镀(LP-PD)、电场蒸发、感应加热离子镀、多弧离子镀、电弧放电型高真空离子镀、离化团束镀等。

　　由于离子镀膜层具有非常优良的性能，所以越来越受到人们的重视，特别是离子镀TiN、TiC在工具、模具的超硬镀膜、装饰镀膜等领域的应用越来越广泛，并将占据越来越重要的地位。

　　在钟表行业，因为钛无毒无污染，与人体皮肤接触，不会引起过敏等不良反应，在表带上沉积一层钛膜还能起到表面装饰的作用，可以做成金黄、黑色、灰色、红棕色、橙色等很多种颜色，增加美观效果。

　　在机加工刀具方面，镀制的TiN、TiC以其硬度高、耐磨性好，不粘刀等特性，使得刀具的使用寿命可提高3～10倍，生产效率也大大提高。

　　在固体润滑膜方面，最新研制的多相纳米复合膜TiN-MoS2/Ti及TiN-MoS2/WSe2，这类薄膜具有摩擦系数低，摩擦噪声小，抗潮湿氧化能力较高，高低温性能好，抗粉尘磨损能力较强及磨损寿命较长等特点，被广泛运用于车辆零部件上。

　　与此同时，离子镀钛也在航空航天，光学器件等领域应用广泛，收效显著。