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真空蒸镀法

2018-07-03

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　真空蒸镀是将装有基片的真空室抽成真空，然后加热被蒸发的镀料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸气流，入射到基片表面，凝结形成固体薄膜的技术。

　　根据蒸发源的不同可以将真空蒸镀分为电阻加热蒸发源、电子束蒸发源、高频感应蒸发源及激光束蒸发源蒸镀法。

　　1、电阻蒸发源是用低电压大电流加热灯丝和蒸发舟，利用电流的焦耳热是镀料熔化、蒸发或升华。这种方式结构简单，造价低廉，使用相当普遍。采用真空蒸镀法在纯棉织物表面制备负载TiO2织物，紫外线透过率都比未负载的纯棉织物的低，具有好的抗紫外线性能，制备TiO2薄膜时，膜层较均匀，当在玻璃表面蒸镀一层铬钛、镍钛合金等装饰薄膜，装饰效果，光学、耐磨、耐蚀性能良好。

　　2、电子束蒸发源利用灯丝发射的热电子，经加速阳极加速，获得动能轰击处于阳极的蒸发材料，是蒸发材料加热气化，实现蒸发镀膜。这种技术相对于蒸发镀膜，可以制作高熔点和高纯的薄膜，是高真空镀钛膜技术中是一种新颖的蒸镀材料的热源。

　　3、高频感应蒸发源是利用蒸发材料在高频电磁场的感应下产生强大的涡流损失和磁滞损失，从而将镀料金属蒸发的蒸镀技术。这种技术比电子束蒸发源蒸发速率更大，且蒸发源的温度均匀稳定。

　　4、激光束蒸发源蒸镀技术是一种比较理想的薄膜制备方法，利用激光器发出高能量的激光束，经聚焦照射到镀料上，使之受热气化。激光器可置于真空室外，避免了蒸发器对镀材的污染，使膜层更纯洁。同时聚焦后的激光束功率很高，可使镀料达到极高的温度，从而蒸发任何高熔点的材料，甚至可以使某些合金和化合物瞬时蒸发，从而获得成分均匀的薄膜。

　　真空蒸镀法具有设备简单，节约金属原材料，沉积Ti金属及其氧化物、合金镀层等，表面附着均匀，生产周期短，对环境友好，可大规模生产等突出优点。